Достанко А.П. и др. Технологические процессы и системы в микроэлектронике: плазменные, электронно-ионно-лучевые, ультразвуковые

Минск: Бестпринт, Белорус. гос. ун-т информатики и радиоэлектроники, 2009, 199 с.Рассмотрены и обобщены результаты исследований и разработок области теории, технологии и оборудования для изготовления изделий электронной техники. Особое внимание уделяется технологическим процессам и системам на основе ионно-плазменных и ионно-лучевых разрядных систем.
Предназначена для инженерно-технических работников предприятий электронной и других отраслей промышленности, специалистов научно-исследовательских организаций, аспирантов и студентов старших курсов технических вузов.
Табл. 4, ил. 120, библиогр.: 221 назв.