СПб.: Университет ИТМО, 2018. — 65 с.
В пособии изложены основы построения технологического процесса в микроэлектронике на примере технологии сборки светодиодов. Обсуждаются общие принципы разработки технологического процесса, место технолога в производственном процессе, методы формализации и описания технологии. Рассмотрены основные госты, в том числе системы ЕСТД, состав комплекта технологической документации.
Во второй части пооперационно разобран технологический процесс сборки светодиодов с одновременным построением технологического маршрута.
Учебное пособие предназначено для студентов по направлениям подготовки магистров 12.04.02 – «Оптотехника» и 16.04.01 – «Техническая физика».
Содержание.
Перечень используемых сокращений.
Вступление.
Определения.
Место и задача технолога.
Особенность описания технологии.
Общие принципы построения ТП.
Описание технологического процесса. Технологическая документация.
Технологический маршрут.
Ионно-плазменная очистка.
Монтаж чипов в корпус.
Нанесение материала.
Постановка чипа.
Сушка адгезива.
Микросварка. Проволочные контакты.
Приготовление, нанесение и сушка люминофорной смеси.
ение групповой заготовки.
Контроль, сортировка, упаковка.
Заключение.
Список использованной и рекомендованной литературы.