Палатник Л.С., Сорокин В.К. Основы пленочного полупроводникового материаловедения

М.: Энергия, 1973. - 296 с.Систематизированы сведения в области пленочного полупроводникового материаловедения на основе современных представлений физики твердою тела и физики тонких слоев. Подробно рассмотрены структура, получение, методы исследования как массивных, так и тонкопленочных полупроводников. Освещены вопросы практического применения. Для исследователей, инженеров, преподавателей, аспирантов и студентов.Введение
Кристаллическая структура полупроводниковых материалов и методы ее исследования
Кристаллическое состояние
Методы исследования структуры кристаллов
Дефекты кристаллического строения
Элементы физики полупроводников
Структура спектра и характер состояний электронов в кристаллах. Реальные полупроводники, содержащие примеси и дефекты. Неупорядоченные системы
Явления переноса. Эффекты, возникающие в сильных полях. Контактные явления
Высокочастотные явления в полупроводниках
Физико-химические системы, содержащие полупроводниковые фазы
Диаграммы равновесия
Методы выращивания полупроводниковых кристаллов
Физико-химические закономерности испарения полупроводников
Термодинамика испарения полупроводниковых соединений
Молекулярный состав пара, образование комплексов
Испарение неразлагающихся соединений
Вакуумные конденсаты соединений, разлагающихся при испарении
Поверхностная адсорбция. Механизм конденсации, зарождение и рост пленок
Адсорбция на идеальной поверхности
Адсорбция на реальной поверхности
Роль адсорбции в процессах зарождения
Образование и рост изолированных частиц
Коалесценция
Методы препарирования полупроводниковых пленок
Метод вакуумной конденсации (открытое или «тигельное» испарение)
Квазиравновесный метод синтеза пленок полупроводниковых соединений
Метод «быстрого» испарения
Катодное распыление полупроводников
Физико-химические и субструктурные явления при вакуумной конденсации
Синтез пленок полупроводниковых соединении на подложке
Неравновесные состояния и старение пленок
Окислительно-восстановительные процессы
Закономерности «генерации», редукции и аннигиляции дефектной структуры (субструктуры)
Физические свойства пленок полупроводников
Электрические свойства
Оптические свойства
Люминесценция и фотопроводимость
Применение тонких пленок в приборостроении и электронике
Физические принципы работы активных элементов
Интегральные схемы
Пленочная электроника. Оптоэлектроника
Литература