Маскаева Л.Н., Федорова Е.А., Марков В.Ф. Технология тонких пленок и покрытий

Учебное пособие. — Екатеринбург: Уральский федеральный университет им. Первого президента России Б.Н. Ельцина (УрФУ), 2019. — 236 с. — ISBN: 978-5-7996-2560-3.В учебном пособии рассмотрены физико-химические принципы организации нанесения тонких пленок и покрытий, способы нанесения пленок с использованием как физических, так и химических технологий, методы определения толщин, фазового состава и функциональных свойств пленок халькогенидов металлов и области их применения в электронной технике и альтернативной энергетике.
Адресовано бакалаврам и магистрам, обучающимся по направлению 18.03.01 «Химическая технология»; может быть полезно студентам, специализирующимся в области химической технологии материалов и изделий электронной техники, а также инженерам и научным работникам, деятельность которых связана с получением и исследованием тонкопленочных, функциональных материалов для микро- и оптоэлектроники.