Масленников П.Н., Симакин Б.И., Холин Г.И., Шевченко Л.Ф. Оборудование для производства полупроводниковых диодов и триодов

Москва : Энергия, 1970. — 184 с.Книга знакомит с технологическим и контрольно-измерительным оборудованием, применяемым в производстве полупроводниковых приборов и твердых схем. Описаны конструкции и приведены основные характеристики наиболее широко используемого в полупроводниковой промышленности оборудования; даются основные сведения по технологии полупроводникового производства. Значительнее внимание уделено вопросам механизации и автоматизации полупроводникового производства, перспективным направлениям механизации и автоматизации, описаны наиболее характерные комплексно-механизированные линии. Книга рассчитана на инженеров и техников, связанных с производством полупроводниковых приборов и твердых схем, а также на студентов вузов и техникумов соответствующего профиля.