Курносов А.И., Юдин В.В. Технология производства полупроводниковых приборов и интегральных микросхем

Учебное пособие. — 3-е изд. — М.: Высшая школа, 1986. — 369 с.В настоящем учебном пособии освещены базовые теоретические и практические аспекты технологии создания полупроводниковых приборов и интегральных микросхем. Читатель ознакомится с базовыми этапами производства полупроводниковых изделий: от изготовления полупроводниковых пластин до сборки в корпуса готовых приборов.
Исходя из требований к унификации и созданию универсальных базовых технологий, представленный материал данной книги изложен в соответствии с основными общими этапами производства полупроводниковых приборов и интегральных микросхем, в пределах каждого этапа дан систематизированный обзор технологических методов и их разновидностей.
Содержание книги направлено не только на правильное понимание базовых физико-химические процессов, происходящих при формировании полупроводниковых структур на каком-то определенном этапе их изготовления, но н на четкое представление об их взаимосвязи на протяжении всех этапов создания полупроводниковых приборов.
Описание каждого технологического этапа начинается с кратких сведений о физических основах данного процесса, при этом рассматриваются его особенности, используемые материалы и оборудование, режимы проведения; далее указываются дефекты, возникающие в структурах на различных операциях; в заключение приводятся методы контроля качества полученных структур и элементов. В книгу введено много примеров расчетов, встречающихся в практике технолога, таких, как определение ряда физических параметров полупроводниковых структур в зависимости от режимов проведения данного технологического процесса (прямые задачи), а также обратные задачи по выбору основных режимов проведения процессов в зависимости от физических свойств, которыми должны обладать готовые полупроводниковые структуры.
Книга представляет собой учебное пособие для студентов старших курсов и молодых специалистов по электронной технике, прикладной физике и материаловедению.
OCR 300 dpi.