Криворучко В.М. Получение тугоплавких соединений из газовой среды

Москва: Атомиздат, 1976. — 120 с.В книге рассмотрено получение карбидов, боридов, нитридов, окислов, силицидов тугоплавких металлов и станнида ниобия из газовой фазы при совместном термическом разложении и водородном восстановлении хлоридов тугоплавких металлов, углеводородов, хлоридов кремния, бора, олова и кремнийорганических соединений.
Описана кинетика осаждения этих соединений и зависимость химического состава их от различных параметров процесса (температуры поверхности подложки, скорости потока парогазовой смеси, парциальных давлений материалсодержащих соединений). Приведены физико-химические свойства таких соединений. Указаны условия получения некоторых материалов с заданными свойствами и стехиометрического состава.
Книга рекомендуется специалистам, занимающимся получением и исследованием свойств тугоплавких соединений и покрытий из них, а также разработкой приборов и конструкций на основе таких соединений.